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JC/T 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 -电感耦合等离子体原子发射光谱法

作者:标准资料网 时间:2024-05-11 22:13:42  浏览:9752   来源:标准资料网
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基本信息
标准名称:半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 -电感耦合等离子体原子发射光谱法
发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
发布日期:2012-12-28
实施日期:2013-06-01
首发日期:
作废日期:
出版社:建材工业出版社
出版日期:2013-06-01
适用范围

本标准规定了采用电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP-AES)法测定半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的方法。
本标准适用于半导体化学机械抛光(CMP)中抛光液用的各种硅溶胶。

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所属分类: 能源 核技术 能源 核技术综合 技术管理 能源和热传导工程 能源和热传导工程综合
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【英文标准名称】:Heatingboilers-Part4:Heatingboilerswithforceddraughtburners;specialrequirementsforboilerswithforceddraughtoilburnerswithoutputsupto70kWandamaximumoperatingpressureof3bar;terminology,specialrequirements,testingandmark
【原文标准名称】:供暖锅炉.第4部分:带强制送风燃烧炉的供暖锅炉.功率70kV以下,最大工作压力3巴的带强制送风的油燃烧炉的供暖锅炉的特殊要求.术语、特殊要求、试验和标记
【标准号】:DINEN303-4-1999
【标准状态】:现行
【国别】:德国
【发布日期】:1999-03
【实施或试行日期】:1999-03-01
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:结构要求;工程数据;压力试验;集中供暖;密封性;锅炉;性能;规范(验收);鼓风燃烧器;定义;作标记;加热设备;燃烧器;漏泄试验;压力;试验
【英文主题词】:Air-blastburners;Boilers;Burners;Centralheating;Constructionrequirements;Definition;Definitions;Engineeringdatas;Heatingequipment;Leaktests;Marking;Performance;Pressure;Pressuretests;Specificat
【摘要】:
【中国标准分类号】:J98
【国际标准分类号】:01_040_91;91_140_10
【页数】:20P;A4
【正文语种】:德语


基本信息
标准名称:转筒干燥机 托轮装置
中标分类: 矿业 >> 矿山机械设备 >> 洗选设备
替代情况:原标准号ZB D96004-1988;被JB/T 8852.1-2004代替
发布日期:1900-01-01
实施日期:2000-10-01
首发日期:1900-01-01
作废日期:2004-11-01
出版日期:1900-01-01
适用范围

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所属分类: 矿业 矿山机械设备 洗选设备